日本芝浦機(jī)電shibaura油擴(kuò)散真空泵ESV系列

產(chǎn)品型號(hào)：

所屬分類：泵

產(chǎn)品時(shí)間：2025-08-02

簡(jiǎn)要描述：日本芝浦機(jī)電shibaura油擴(kuò)散真空泵ESV系列
該系列使用內(nèi)部加熱型護(hù)套加熱器，以從超高真空區(qū)域到高，中和真空區(qū)域獲得穩(wěn)定的壓力，并防止由于油在超高真空下突然沸騰而引起的壓力波動(dòng)。
ESV系列提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運(yùn)行時(shí)間短，排氣量大和臨界背壓高的特點(diǎn)。另外，可以減少液壓油的量。

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詳細(xì)說(shuō)明：

日本芝浦機(jī)電shibaura油擴(kuò)散真空泵ESV系列

ESV系列的功能

該系列使用內(nèi)部加熱型護(hù)套加熱器，以從超高真空區(qū)域到高，中和真空區(qū)域獲得穩(wěn)定的壓力，并防止由于油在超高真空下突然沸騰而引起的壓力波動(dòng)。
ESV系列提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運(yùn)行時(shí)間短，排氣量大和臨界背壓高的特點(diǎn)。另外，可以減少液壓油的量。

使用例

各種真空爐
各種實(shí)驗(yàn)的排氣裝置
各種成膜設(shè)備
電子束焊接

日本芝浦機(jī)電shibaura油擴(kuò)散真空泵ESV系列

ESV系列陣容

模型		單位單位	ESV-161	ESV-221S	ESV-241
大排氣速度		升/秒	7,500	13,500	20,000
達(dá)到壓力		帕	10 ^-5	10 ^-5	10 ^-5
工作壓力范圍		帕	10 ^-5至0.4	10 ^-5至0.4	10 ^-5至0.4
臨界背壓		帕	33	35	33
大排氣量		帕升/秒	1,130	1,680	1,460
用油			獅子A	獅子A	獅子A
油量		大號(hào)	2	3	五
墊片			氯丁橡膠	氯丁橡膠	氯丁橡膠
加熱器	格式		種子	種子	種子
	電壓，相	ACV，相	200、3	200、3	200、3
	格式	千瓦	5.5 5.5	7.5 7.5	9.0
進(jìn)氣口			VG400	VG550	VG600
輔助端口			VG100	VG150	VG150
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	11	15	15
輔助泵			KP-4500BG	KP-7500BG	KP-7500BG
擋板格式			16C（雪佛龍）	22L（百葉窗）	24L（百葉窗）
帶擋板的排氣速度		升/秒	3,000	6,500	8,000
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	11	3	3
機(jī)油倒流		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-7	10 ^-7	10 ^-7
材料	圓筒		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	160	250	350

模型		單位單位	ESV-24S	ESV-281S	ESV-361S
大排氣速度		升/秒	19,000	23,000	39,000
達(dá)到壓力		帕	10 ^-5	10 ^-5	10 ^-5
工作壓力范圍		帕	10 ^-5至0.4	10 ^-5至0.4	10 ^-5至0.4
臨界背壓		帕	30	30	40
大排氣量		帕升/秒	1,300	2,500	2,800
用油			獅子A	獅子A	獅子A
油量		大號(hào)	五	五	9
墊片			氯丁橡膠	氯丁橡膠	氯丁橡膠
加熱器	格式		種子	種子	種子
	電壓，相	ACV，相	200、3	200、3	200、3
	格式	千瓦	9.0	12	15.6
進(jìn)氣口			VG600	VG700	VG900
輔助端口			VG150	VG200	VG200
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	15	15	15
輔助泵			KP-7500BG	TMB-1500 + KP-4500BG	TMB-2500 + KP-7500BG
擋板格式			24L（百葉窗）	28L（百葉窗）	28L（百葉窗）
帶擋板的排氣速度		升/秒	10,500	120,000	22,000
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時(shí)	3	3	3
機(jī)油倒流		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-8	10 ^-7	10 ^-7
材料	圓筒		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	200	400	830