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日本芝浦shibaura電機直聯式油旋轉真空泵

日本芝浦shibaura電機直聯式油旋轉真空泵

產品型號: DRP系列

所屬分類:

產品時間:2025-08-02

簡要描述:日本芝浦shibaura電機直聯式油旋轉真空泵 DRP系列
由于采用了兩階段系統,終壓力很低。
采用電機直接連接方式,結構緊湊,輕便,粉塵少,可以保持清潔的環(huán)境。
減少振動和噪音
易于維護的結構
由于帶有氣鎮(zhèn)閥(蒸汽處理閥),因此可以抵抗蒸汽和可冷凝氣體的排放

詳細說明:

日本芝浦shibaura電機直聯式油旋轉真空泵 DRP系列

 

DRP系列的特點

  • 由于采用了兩階段系統,終壓力很低。
  • 采用電機直接連接方式,結構緊湊,輕便,粉塵少,可以保持清潔的環(huán)境。
  • 減少振動和噪音
  • 易于維護的結構
  • 由于帶有氣鎮(zhèn)閥(蒸汽處理閥),因此可以抵抗蒸汽和可冷凝氣體的排放

使用

  • 濺射裝置
  • 氣相沉積設備
  • 各種等離子設備
  • 真空爐
  • 各種真空測試設備

日本芝浦shibaura電機直聯式油旋轉真空泵 DRP系列

DRP系列陣容

模型單位單位DRP-180YⅡDRP-360YⅡDRP-360Ⅲ
施工
附帶旋轉葉片式2級氣鎮(zhèn)閥
設計排氣速度50 Hz,L /分鐘150300300
60 Hz,L /分鐘180360360
達到壓力2.7 x 10 -2(* 2)2.7 x 10 -2(* 2)6.7 x 10 -2(* 2)
所需馬達ACV,相,kW200、3、0.4(* 3)200、3、0.75(* 3)(* 4)200、3、0.73(* 3)(* 5)
進氣口 NW25(* 6)NW25(* 6)NW25(* 6)
排氣口 PS1PS1PS1
用油 TSR-1200TSR-1200TSR-1200
油量大號0.81.21.5
尺寸(* 1)寬x深x高(毫米)261 x 494.5 x 209261 x 572 x 172260 x 503 x 176
質量(* 1)公斤273834
水處理量升/小時0.20.40.4
噪聲50 Hz,分貝(A)606158
60 Hz,分貝(A)636461
振動 振幅0.05mm以下
冷卻方式 強制冷卻(風冷)
     
模型單位單位DRP-800DRP-1500 
施工
附帶旋轉葉片式2級氣鎮(zhèn)閥
 
設計排氣速度50 Hz,L /分鐘7001,250 
60 Hz,L /分鐘8401,500 
達到壓力6.7 x 10 -2(* 2)6.7 x 10 -2(* 2) 
所需馬達ACV,相,kW200、3、1.5(* 3)(* 4)200、3、2.2(* 3)(* 4) 
進氣口 VG50VG50 
排氣口 PS1 1/2PS2 
用油 TSR-1200TSR-1200 
油量大號2.33.5 
尺寸(* 1)寬x深x高(毫米)441 x 608 x 237496 x 721.5 x 253 
質量(* 1)公斤6796.5 
水處理量升/小時0.81.5 
噪聲50Hz,分貝(A)6373 
60Hz,分貝(A)6776 
振動 振幅0.05mm以下 
冷卻方式 強制冷卻(風冷) 

* 1表示包括基座,電動機等在內的一組值。
* 2用MacLeod真空計測量
* 3全
封閉式外部風扇型電動機* 4 IE3規(guī)格
* 5 CE規(guī)格(相當于IE1)
* 6選件

 



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