日本ballwave超微量水分儀介紹

發(fā)布時間：2022-03-21　點(diǎn)擊量：1374

日本ballwave超微量水分儀介紹

超微量水分計(jì)“Falcon Trace”是使用球型SAW傳感器定量測量工業(yè)氣體和天然氣中極微量水分子的設(shè)備。

響應(yīng)速度極快，可實(shí)時監(jiān)測含水量變化，可測量含水量和背景氣體成分分析兩項(xiàng)。氣體中的水濃度可以精確測量到 1ppb（十億分之一）的水平。

球型SAW傳感器的測量原理

① 表面聲波（IDT；Inter Digital Transducer）產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道上循環(huán)，對所施加的敏感膜的微小變化作出
反應(yīng) ③ 反應(yīng)后表面聲波的信號變化異形電極檢測
④通過多輪積分微小變化實(shí)現(xiàn)高靈敏度傳感。

響應(yīng)速度極快，可在數(shù)秒內(nèi)監(jiān)測含水量變化，有助于穩(wěn)定半導(dǎo)體和二次電池制造過程中的產(chǎn)品良率和質(zhì)量。
無需對每種背景氣體進(jìn)行重構(gòu)，當(dāng)天然氣等成分有波動時，可以同時檢測。另外，由于傳感器材料是水晶球，耐腐蝕，而且重量輕，攜帶方便，這也是一大優(yōu)勢。